Urządzenie do pomiaru cząstek w żrących cieczach. Składa się z samplera pod ciśnieniem oraz czujnika LiQuilaz. Nadaje się doskonale do pieniących chemikaliów, z których pod wpływem ciśnienia są uwalniane pęcherzyki powietrza. Spełnia wymogi standardu SEMI C1.
Urządzenie do pomiaru cząstek w żrących cieczach. Składa się z samplera pod ciśnieniem oraz czujnika LiQuilaz. Nadaje się doskonale do pieniących chemikaliów, z których pod wpływem ciśnienia są uwalniane pęcherzyki powietrza. Spełnia wymogi standardu SEMI C1.